“要颠覆。”
陈春仙指了指清华圆的方向，“我跟那边详细讨论过，也通过国外行业能搜集到的皮毛资料，做过深入研究。下一代光刻机，需要摒弃掉‘接触接近’的方式，技术出路一定在光学投影这一块。”
对喽！
李建昆眼神大亮，作为资深键盘侠，你跟他说具体怎么造一台光刻机，其中涉及哪些细微技术，他是真不懂。但大的技术特点，他还是有所了解的。
第三代光刻机的称谓，正是叫作“扫描投影式光刻机”。
“有研发思路吗？”
没有我给你提供点……李建昆心想。打算先听听老陈怎么说。
陈春仙进入科研状态，像是在与一个同层次的科学家，进行深刻探讨，很认真地说道：“抛弃接触接近的方式，那么只能采取隔空曝光的形式，首先要利用光学透镜聚集衍生光，提高成像质量，其次使用扫描技术实现曝光。”
好家伙！
思路完全正确！
怕不是从9003所偷师的吧？
否则仅仅研究一年，能有这么精准的思路？
倒真应了那句老话，前人栽树后人乘凉，就是舒坦。
李建昆竖起一根食（本章未完，请翻页）
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