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第932章(2 / 2)

不过,研究所内仍然灯火通明。

在接受了搜身等一系列检查后,两人才得以进入。

“小林,小周,你们来了呀!哈哈,看来你们跟我一样等不及了。”李老开怀大笑。

“李老,这是我近一年来,听到的最好的消息,我已经迫不及待的想看看我们自己的国产光刻机了。”

“来,让康研究员给你介绍一下我们的新光刻机吧。”

经过康研究员的一番介绍,两人大致的了解了一些这款光刻机。

结构方面,基本是复制了林晓捐给上面的那台光刻机,但也有部分地方进行了改进。

康研究员知道两人算是这方面的小白,所以,解释的比较通俗。

按照康研究员所说,这台光刻机,算是第四代光刻机,但是,整体方面,只能算是三代半,只是略优于第三代,但是,已经铺平了第四代光刻机的研发之路,研发出第四代光刻机,只是时间问题,因为已经没有太难的技术节点了。

最难的激光光源问题已经解决了,之前林晓通过富欧集团买回来的两台光刻机,使用的光源是KrF,氟化氪,而现在制造出来的这台,使用的光源是ArF,氟化氩。

之前的光刻机,能生产出300nm已经接近极限了,就算继续改进制程工艺,最多也就是能生产出180nm制程的芯片。

而新的光刻机,理论上,可以生产出28nm的芯片,(本章未完,请翻页)

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